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VIEW Benchmark 250特征:测量范围:300 x 150 x 150 mm25公斤承载力亚微米的光栅尺分辨率平台移动速度X-Y: 150 mm/秒; Z: 100 mm/秒误差映射:在XY平面非线性二维纠错超精密双重放大光学系统可编程多色环形灯(PRL)选项TTL激光选项,具有自动聚焦和扫描功能先进的图像处理性能,快速、精确、稳健双通道,数字式,1.4兆像素的单色相机; 4:1的比例次像素精度: 1/10 - 1/50 pixel强大的测量软件和数据分析工具可供选择平均无故障工作时《查看更多》
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